二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595656 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款專為半導體加工而設計的高端等離子蝕刻器/asher。它可用於蝕刻和清潔包括矽、石英和金屬在內的多種基板。彩虹4420具有兩個氮氣射流,一個用於蝕刻,一個用於灰化,以及可調射頻和直流控制器,使技術人員能夠精確控制特定應用所需的蝕刻量或灰燼量。LAM RESEARCH Rainbow 4420還配備了先進的氣體註入設備，允許註入特殊的反應物氣體，以提高蝕刻均勻性。Rainbow 4420具有獨立的雙腔室操作,允許每個腔室同時或單獨處理。這進一步提高了流程的統一性和生產率。LAM RESEARCH Rainbow 4420還提供了一個大的腔室體積，在整個腔室中提供均勻的等離子體蝕刻或灰燼。此外,預熱特性允許系統在加工前進行預熱,以確保整個設備的加工條件一致。彩虹4420能夠同時執行各向同性和各向異性過程。各向同性蝕刻的特點是從基板的頂部和底部進行定向蝕刻。這樣可以改進蝕刻側壁角度輪廓,並提供高長寬比蝕刻,而不會影響臨界尺寸（CD）控制。各向異性工藝的特點是從基板的一側進行定向蝕刻，從而產生高度傾斜的墻面輪廓以及改進的CD控制。LAM RESEARCH Rainbow 4420還具有多項高級控制和監控功能。技術人員能夠實時監控和調整蝕刻或灰燼工藝。還有一個額外的數據收集功能,允許用戶在一段時間內存儲和查看流程參數。然後可以使用這些數據來優化過程並減少可變性。簡而言之，Rainbow 4420是一種精密、精密的等離子體蝕刻器/灰化器，可用於蝕刻多種材料，包括矽、石英和金屬。LAM RESEARCH Rainbow 4420配備了多項尖端功能,以確保每個流程都能平穩高效地運行。它還提供高級控制和監視功能,以確保每個批次的準確性和一致性。