二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293601578 待售

ID: 293601578
晶圓大小: 8"
Etcher, 8" HINE 38A Indexer and open cassette ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Generator 8-Channel gas line ESC Cathode base.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高精度的蝕刻器/asher,旨在生產高品質、高精度的微結構曲面。它允許用戶生成具有高長寬比和特殊長寬控制的毫米長的納米尺度表面特征。彩虹4420是第一個將幹蝕刻和原子層沈積(ALD)結合在一個腔室中的蝕刻器/灰化器,在納米級提供高度可控的器件特征。它具有獨特的、高度穩定的、多區域電容耦合等離子體(CCP)源,可以對各種材料進行精確、均勻的蝕刻和圖樣處理。用戶可以完全控制蝕刻過程,並且可以在納米級達到高達1:1.5的長寬比。此外,其卓越的無掩碼蝕刻功能和高精度特征創建使其成為各種應用的理想選擇,如通信和內存設備、微濾和片上實驗室分布。其廣泛的操作範圍也使其適合於生命科學、光學、電子和微電子市場的多種應用。LAM RESEARCH Rainbow 4420提供了多種選項,包括實時配方傳輸、高通量工作流、集成分析和可靠的安全功能,是在各種基板上蝕刻和設計納米級設備的理想工具。它旨在確保一致的流程性能,同時消除間接費用,為用戶提供卓越的價值。它易於操作,復雜的用戶界面使得編程和監控蝕刻過程變得簡單。Rainbow 4420是滿足各種客戶需求的理想工具,從入門級研究到高精度制造。
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