二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420
蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
LAM RESEARCH
模型
Rainbow 4420
ID: 293609830
晶圓大小: 6"
Etcher, 6" (8) MFC Cassette type: Open cassette, 6"(Standard) LCD Remotte monitor Chamber: Part number / Description 718-092326-061 / ESC 716-028249-064 / Focus ring 716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic 715-011531-015 / Upper electrode 716-011570-001 / Orifice filler, ceramic 715-011753-001 / Upper baffle 715-011913-080 / Lower baffle 716-011009-001 / View window 715-011535-001 / Cathode clamp ring 715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type 715-028532-002 / Ring colling electrostaic 853-540066-005 / Endpoint dection 853-025054-002 / ESC power supply 796-092338-005 / MKS Chamber manometer 797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm 853-031764-002 / Lift pin cylinder 796-006238-001 / Throttle valve controller 853-013541-002 / Assy throttle valve RF Generator: ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003 Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002 PCB / DIP, part number: 810-017003-004 RF Power cord, 60 feet RF Cable, 65 feet TCU Signal cable,60 feet TCU Channel to interconnect, 60 feet Transfer: GAP calibration tool Transfer calibration tool Part number / Description 853-012123-001 / Robot (ELL and XLL) 853-012601-001 / Load index assy 853-012600-102 / Unload index assy 853-012200-002 / Inner door 853-012200-002 / Outer door 605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive 853-029462-001 / XLL Wafer sensor VME PCB: Part number / Description 810-017034-005 / Assy PCB VME 68030 810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO 810-017038-002 / SIO PCB 810-017388-003 / Ethernet address PCB Gases: CL2 500 SCCM SF6 200 SCCM C2F6 200 SCCM HE 500 SCCM HBR 100 SCCM HE 50 SCCM CHF3 20 SCCM O2 10 SCCM Power supply: Part number / Description 660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V 660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V Manuals included.
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LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款主要用於半導體制造和器件制造的蝕刻器/asher。Rainbow 4420是一款全自動、高性能的幹式蝕刻器/asher設備。它能夠以高吞吐量提供卓越的蝕刻和灰化質量,非常適合先進的設備制造。LAM RESEARCH Rainbow 4420系統提供超快速蝕刻和灰化,提供卓越的效果。該單元采用模塊化設計，采用全系列氣體輸送機，允許多種工藝配置。它具有先進的射頻功率傳遞技術，即使對於最具挑戰性的基板，也能實現精確一致的蝕刻。Rainbow 4420還通過其先進的工藝控制工具提供了增強的蝕刻能力,這些工具提供了準確和可重復的參數。為確保最高的可靠性和性能,LAM RESEARCH Rainbow 4420工具采用了各種硬件和軟件控制系統。其中包括先進的控制軟件、高速數據采集資產和高級流程模型。控制設備提供了對蝕刻速率、食譜、食譜、參數，甚至過程時序的精確控制。數據采集系統對蝕刻速率和工藝變化進行實時監測。此外,Rainbow 4420單元還提供了一系列高級過程控制和優化工具,例如多步蝕刻排序和跨晶圓同步。它還能夠支撐廣泛的材料，包括矽、SiO₂和III-V化合物，以及各種不同的層和底物。這使得它適用於各種不同類型的設備。最後,LAM RESEARCH Rainbow 4420機器的設計提供了一種簡單經濟的方法,可實現單站和多站配置的生產級蝕刻和灰化性能。該工具完全可配置,允許無縫集成到現有的生產過程中。它具有優越的蝕刻質量和較高的吞吐量，是先進設備制造的理想選擇。
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