二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293821536 待售

LAM 4420自動等離子體灰燼/蝕刻器是一種全自動工具，用於大容量等離子體表面處理應用。此設備將asher和蝕刻器的功能結合到一個平臺中,以方便和節省成本。4420利用高功率感應耦合等離子體（ICP）源,提供極快速高效的處理環境,低運行成本。LAM 4420采用模塊化設計,便於各種應用程序定制。這包括選擇150至800瓦功率的擴散源或並行源。該系統還包含一個20英寸的真空室，帶有水平和垂直可變傾斜選項。腔室設有板載O形環密封和氣體控制單元，以保持一致的真空和等離子體過程。4420配備了處理控制機，使用戶能夠準確、精確地控制氣流、腔室壓力和射頻功率。LAM 4420除了提供高效的處理功能外,還提供了一個用戶友好的界面,旨在適應不同程度的流程復雜性。此平臺具有直觀、圖形化的用戶界面,允許操作員自定義每個流程步驟的蝕刻參數並輕松查看結果。4420還與SEMVision、LamView和SPX Tool等各種兼容軟件包兼容,為用戶提供高級控制、數據收集和分析以及過程驗證功能。LAM 4420的平行和擴散源為蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）提供了可靠的非接觸式等離子體源，以便獨立控制表面的性質。此功能允許用戶將蝕刻過程精確控制到幾納米。此外,4420還配備了多個燃氣箱,使用戶可以移動到各種工藝氣體,並使用最多三個獨立的燃氣混合物,並最大程度地減少停機時間。LAM 4420已成功地應用於許多實驗室和生產應用，從太陽能電池和半導體器件蝕刻到光刻應用。這種靈活的功能使用戶能夠實現蝕刻速率和選擇性的最佳組合。此外,此用戶友好型平臺還具有眾多安全功能,包括板載互鎖資產、基於窗口的用戶保護模型以及經過安全優化的單元設計。