二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #63700 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高端等離子體蝕刻器，旨在在寬廣的工藝窗口上提供精確、可重復的輪廓和蝕刻速率控制。該設備非常適合制造多級互連、MEMS等高性能微電子基板，以及其他各種需要高通量等離子體蝕刻的應用。Rainbow 4420利用基於閉環大氣壓（APC）、感應驅動端點控制RF （IDEP）等離子體源、高級蝕刻站、晶片處理和自動化解決方案的大型區域重叠蝕刻室。它具有先進的原位清洗技術以及幹式/濕式/混合式蝕刻能力。除了x-y掃描儀型壓板外，系統使用高速原位表面監測單元（ISMS）檢測蝕刻參數的變化，如等離子體蝕刻速率、均勻性和輪廓控制。本機還包括最新的高速率蝕刻技術，減少了3D表面結構的蝕刻時間。該工具堅固耐用，確保其性能不受腐蝕性化學物質的影響，並且能夠在高達300攝氏度（572華氏度）的工藝溫度下運行。該資產制造高質量、高速度、納米級精度線性和圓形蝕刻，在整個蝕刻區域具有出色的蝕刻速率均勻性和可重復性。車型配備安全功能，提供安全的工作環境，符合嚴格的安全規定。LAM RESEARCH Rainbow 4420支持各種蝕刻化學，包括CF4、CHF3、C2F6和SF6，以及其他光致抗蝕劑和聚合物基材料。Rainbow 4420允許用戶從廣泛的蝕刻選項和化學方法中進行選擇，同時提供可靠而強大的蝕刻工藝。用戶還具有選擇溫度、壓力、流量等多種處理參數的能力，以及執行維護操作的能力。LAM RESEARCH Rainbow 4420為用戶提供高效可靠的蝕刻工藝，以產生高精度、多層次、表面性能優越、蝕刻質量優異的結構。憑借其堅固的設計、安全特性以及堅固的工藝和基板處理能力，該設備適用於廣泛的高性能微電子應用。