二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/asher是一種高度先進的全自動蝕刻和灰化設備,專為快速、高精度地生產集成電路（IC）微結構而設計。該系統旨在簡化復雜微觀特征的蝕刻和灰化過程,具有出色的材料去除率（MRR）、表面粗糙度（Ra）和閾值電壓（Vth）控制精度。Rainbow 4420配備了4軸SCARA機器人，以達到最大的整體工藝效率，並滿足廣泛的應用要求。該單元還配備了一個高精度的運動控制機器，管理機器人功能，使出色的蝕刻和灰燼均勻性。此外,該工具還配備了LAM RESEARCH自動化過程控制（IPC）軟件,該軟件提供高性能、自動化過程控制和持續監控,以確保產品質量。LAM RESEARCH Rainbow 4420以壓力、速度、溫度和工藝氣體操縱等先進的蝕刻和灰分控制能力構建，以改進工藝控制。這包括控制高溫過程氣體溫度（超過550 °C）的能力,以及超深微米級特征定義的高蝕刻速率（>5,000 Å/min）。它的全晶片加工區可以蝕刻或灰燼到一個12英寸的口袋直徑，並且在一個模塊中最多支持八個蝕刻口袋。除了先進的能力外，Rainbow 4420資產性價比高，易於維護。其綜合濕洗模式節省了化學品的使用，減少了浪費，提高了生產率。直觀的LCD觸摸屏界面簡化了用戶互動，並提供了方便的化學維護和錯誤信息訪問，這意味著用戶在維護他們的機器方面得到了信息和活躍。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/Asher是IC工藝工程師的理想設備,他們希望最大限度地提高蝕刻和灰燼性能,同時最大限度地降低化學和刀具維護成本。Rainbow 4420具有先進的工藝控制和高精度的蝕刻和灰分均勻性,是任何芯片規模生產環境的必備系統。