二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9180738 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款先進的蝕刻器/asher,旨在在幹式和濕式蝕刻應用中實現精確的各向異性蝕刻。該設備非常適合3D結構、不同摻雜水平和關鍵結構的精確制造。Rainbow 4420是一種感應耦合等離子體（ICP）蝕刻器，為改進處理結果提供了對蝕刻參數和腔室環境的精確控制。它具有最先進的ICP源,能夠產生各種等離子體密度和功率來處理不同的處理要求。該系統非常精確可靠,可確保關鍵制造過程中的可重復性和可重復性。LAM RESEARCH Rainbow 4420可用於多種應用，包括多晶矽柵蝕刻、金屬化和接觸蝕刻、高長寬比特征的各向異性蝕刻以及陽極氧化和金屬蝕刻工藝。它能夠以精細的分辨率、較小的特征尺寸和出色的精度來蝕刻圖樣。它也與普通和先進的材料兼容，包括Si、SiGe，甚至III-V化合物。Rainbow 4420提供高效的RF電源傳遞和增強的過程控制效果,確保了卓越的蝕刻輪廓。該設備采用全封閉、無維護的設計，能夠長時間運行而不會中斷。這臺機器還具有低消耗性成本和最低的汙染水平，從而減少了材料浪費，提高了工藝經濟性。所有在LAM RESEARCH Rainbow 4420中執行的蝕刻過程都可以通過其直觀的用戶界面進行監控和控制。該工具配備了健壯的流程監控功能，使操作員能夠輕松實時設置、監控和控制流程。先進的數據采集資產允許用戶快速分析結果，而智能診斷和安全功能則確保最大程度的安全性和可靠性。Rainbow 4420是一款高級蝕刻器/asher,專為滿足當今最苛刻的制造和處理應用程序的需求而設計。高性能、低維護特性使其成為需要卓越蝕刻效果的關鍵流程的理想選擇。