二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9184687 待售
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已售出
ID: 9184687
Poly etcher, 8"
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I interface
Cassette interface: (2) Hine 38F indexers
Electrostatic chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm/520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
On-board RF Generators: No
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Remote RF cart: No
ATM Passivation module: No
Plasma LLK (PLL): No
High conductance manifold: No
Gas box:
Remote gas box: No
Orbitally welded GB: Yes
Backside cooling MFC: Unit 1250A
Gases:
#1: N2, 200 sccm, unit 1200A
#2: CHF3, 50 sccm, unit 1200A
#3: N2, 300 sccm, aera
#4: N2, 500 sccm, unit UFC 1660
#5: CF4,150 sccm, unit 1200A
#6: SF6,150 sccm, unit 1200A
#7: He, 1 slm, Unit UFC 1660
#8: O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pumps:
Heated pumping manifolds: No
Pump controller: iQ Series
Entrance / Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
Chillers: (2) SMC HRS018-WN-20-M
On-board AC distribution type: Fused
Power requirements: 208VAC, 3-Phase, 5-Wire
1993 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款蝕刻器/asher，設計用於各種腐蝕性應用的可靠、經濟高效和高產光刻工藝。這種高性能設備提供了高分辨率、大面積處理和最小汙染的最佳組合。Rainbow 4420具有30厘米x 45厘米（12 「x 18」）的處理區域,可實現最佳區域覆蓋。它由高度耐腐蝕的不銹鋼構成，可高效容納多達6個工藝浴池，允許廣泛的應用。該系統能夠處理範圍最廣的可用材料，甚至包括一個集成的感知器升降機，可容納多達2.5厘米（1英寸）的感知器運動。此外，設計獨特的廢物回收系統確保任何蝕刻殘留物安全地遠離加工區，以減少對環境的影響。在操作方面，LAM RESEARCH Rainbow 4420專為在低溫真空或低壓環境下運行而設計，以確保高效、安全和可靠的操作。獨特的感應器升降機和波紋管密封窗口提供了底物裝卸所需的必要壓力控制。此外，內置的無粒子凈化系統和易開關技術共同作用，控制蝕刻過程中使用的超高純度氣流。此外,Rainbow 4420還具有交互式用戶界面,可輕松控制和監控。該機還利用嵌入式智能診斷技術進行連續工藝優化。總而言之，LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/asher是高精度、高產光刻工藝的可靠、經濟高效的解決方案。它提供了先進蝕刻技術和減少環境影響的高效廢物回收系統的獨特組合。
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