二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092 待售
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已售出
ID: 9195092
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
Poly / Nitride etcher, 6"
Software: Classic
Chuck: Clamp
Loader type: Hine indexer
ENT Shuttle
Aligner
Includes:
Chamber ceramics
Onboard RF Generator
Remote
Cable harness
Automatic fuses
(8) Gas valve inputs: He, Cl2, O2, HBr, Cl2, SF6, O2, CF4
Does not include chiller
1997 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher是一種開發用於蝕刻和灰分薄膜的先進制造設備。它由一個工藝室、一個控制器單元和一個抵抗室組成。該工藝室由聚氯乙烯酸酯（PVC）制成，包含兩個靜電墊和一個等離子體電源。靜電板負責在蝕刻/灰化過程中將薄膜保持在均勻和穩定的條件下。等離子體電源用於蝕刻和粉刷薄膜。控制器單元由GUI控制，提供機器和操作員之間的通信。使用控制器單元,可以調整溫度和壓力設置以優化蝕刻/灰化過程並簡化操作。彩虹4420利用反應性離子蝕刻和離子輔助灰技術蝕刻和灰極薄膜。薄膜暴露於反應性等離子體，使材料鍵解離和薄膜的蝕刻或灰化。反應性等離子體由位於電源系統末端的等離子體工具產生。腔室在低壓和高溫下工作，允許在整個基板上均勻地進行高速率的薄膜蝕刻和灰化。LAM RESEARCH Rainbow 4420效率很高，因為它能夠在一個工藝室內進行蝕刻和灰化操作。它還配備了溫度控制系統和工藝室冷卻系統，使其能夠實現高精度處理，並具有可重現的效果。此外,Rainbow 4420還旨在降低運營成本並提高吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4420以其高精度的操作，是薄膜蝕刻和灰化的理想工具。
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