二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226088 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款用於半導體制造的最先進的蝕刻/asher設備。針對從淺蝕刻到深蝕刻的高精度蝕刻和灰化工藝進行了優化。該系統非常適合於等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻/DEB、金屬/種子蝕刻和光致抗蝕劑灰化工藝。它提供了一個可重復的過程功能，具有均勻性和緊密的端點，這是優於手動過程。該單元使用高精度垂直源,允許用戶創建蝕刻/灰燼輪廓,幾乎不會過度蝕刻或削弱關鍵特征大小。Rainbow 4420的多波形發生器允許為每個級別/批次生成多個波形。這允許在多個條帶運行中進行過程控制和可重復性。LAM RESEARCH Rainbow 4420可以輸出直流、射頻、脈沖波形。它還配備了石英單寬模塊，提供石英向所有平面基板輸送的等時，從而確保整個晶片的均勻性。它還配備了1kW的高能峰脈沖和其他功能,可在所有級別上精確控制蝕刻深度、輪廓和均勻性。該機包括一個射頻功率監控工具，控制和優化過程和設備功率，同時保持最精確的蝕刻參數。該資產還配備了ElitePA RF Eyebrow探測器，允許自動化的工藝配方驗證。該型號配備了「等待蝕刻」功能，消除了直流能量（偏置或等離子體）和過度蝕刻造成的無蝕刻問題。單獨的「Job File Manager」和「Log File Manager」保留每個批次的蝕刻參數,確保每個蝕刻作業都捕獲所有重要信息。該設備允許使用標準的、可重復使用的硬件和符合工藝要求的消耗品，以最大限度地提高準確性和降低成本。Rainbow 4420兼容ISO 9001認證的IC制造工藝，遵循半導體行業標準的要求。當與先進的過程控制和用戶管理系統結合使用時,LAM RESEARCH Rainbow 4420可提供卓越的產品產量、卓越的過程重復性和可行性。該系統允許用戶根據自己的特定需求輕松優化工藝參數，提供大批量生產所需的靈活性和生產率。