二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 待售
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單擊可縮放
ID: 9226295
晶圓大小: 5"
優質的: 1990
Etcher, 5"
Wafer type: Major flat
Clamp
Temperature control unit: CS15W Chiller
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A XL
RF Matcher
Helium cool system
EDP
(8) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
O2 / 10 SCCM / FC-770AC
O2 / 200 SCCM / FC-770AC
Vacuum system:
Loadlock: EDWARDS QDP80
P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250
Signal tower
AC Power rack
1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高性能蝕刻器和asher,專為各種材料的蝕刻和灰化操作而設計。它具有高效的真空室、高吞吐量和先進的過程監控能力。Rainbow 4420是一款易於使用的設備,擁有較小的占地面積、堅固的結構和用戶友好的界面。其真空機構達到1 Torr的行業標準。其蒸發源設計為達到高溫，並提供高通量和低電阻率的基板。腔室由位於設備頂部的溫度控制器從底部到頂部保持恒定溫度。除了效率和功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4420還具有高性能的流程監控系統。該單元能夠在處理過程中提供實時信息，確保高質量的結果和可重現的過程。彩虹4420配備了先進的安全機制來保護機器和用戶，並包括防止靜電放電的工具。該工具還能抵抗極端溫度和腐蝕性氣體，提供可靠性和壽命。LAM RESEARCH Rainbow 4420可用於幹蝕刻沈積、原子層沈積（ALD）和化學氣相沈積（CVD）。它提供了在整個蝕刻過程中對層厚度和其他參數的精確控制。腔室也能處理高達8英寸及以上的基板。歸根結底,Rainbow 4420是一款用途廣泛且可靠的機器,可用於精確且可重現的蝕刻和灰化過程。其先進的特性、精確的控制和安全的好處使機器成為工業界和科學界的理想選擇。
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