二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186 待售
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ID: 9242186
晶圓大小: 8"
Polysilicon etchers, 8"
Stand alone
SECS Interface
Rainbow mainframe
Integrated SMIF
Orbitally welded gas box
Backside helium cooler
Helium cooling MFC type: UPC-8130
Remote RF cart
LAM 851-180089-111 Remote RF cart
LAM P/N: 851-014680-583-F-GEN Remote RF cart
853-025903-002-A-262C RF Match type
Main on-board AC distribution type: Fused
Remote AC box
Etch chamber
Clamp
ENI OEM-650A RF Generator
EDWARDS IQDP80 Loadlock pump
EDWARDS IQDP80 / QMB250 Etch chamber pump
(2) LAM 2080 TCU Chillers
LAM 852-110198-001-C-6882
Gas box configuration:
Gas line / Gas / Flow (sccm) / MFC / Model
PM1-1 / HE / 500 / Unit / 1660
PM1-2 / AR / 500 / Unit / 1660
PM1-3 / O2 / 50 / Unit / 1660
PM1-4 / C2F6 / 500 / Unit / 1660
PM1-5 / SF6 / 500 / Unit / 1660
PM1-6 / HBr / 200 / Unit / 1660
PM1-7 / CL2 / 500 / Unit / 1660
PM1-8 / NF3 / 0 / Unit / 1660
Power supply: 208 V, 3-Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款為先進半導體器件制造而設計的蝕刻/灰分工藝工具。該工具基於Rainbow系列平臺,該平臺具有高度可配置性和可擴展性,可滿足當今不斷發展的設備制造需求。Rainbow 4420提供了Rainbow系列的最高吞吐量和最低擁有成本,使其成為許多大容量晶圓級應用程序的理想解決方案。LAM RESEARCH Rainbow 4420提供了一系列工藝功能,包括蝕刻/灰分、條帶和雙面蝕刻。它支持多個工藝室以及廣泛的基板和陰極，允許靈活和精確的處理。集成的CHA技術實現了非常高的收益,而其3D校正功能降低了非均勻性並增強了配方性能。Rainbow 4420還具有可編程晶片放置控制功能，在整個配方中提供精確的晶片運動控制。該工具具有高級流程控制和監控功能,即使在要求最苛刻的應用程序中也能實現精確的端點檢測和調整。該工具的核心模塊是Super Fab控制器，能夠同時管理多達8個工藝室，以及其先進的工藝控制和監控系統。Super Fab還提供了集成校準系統，以確保最佳性能。LAM RESEARCH Rainbow 4420專為快速、低成本的設備層生產而設計。它完全符合SEMI SECS/GEM標準,正常運行時間為99.9%。該工具還具有廣泛的附加附件選項,包括電源負載、虛擬晶片和濺射模塊。它還與YieldFlex軟件套件兼容,提供了一系列增強的產量優化選項。Rainbow 4420是一款可靠高效的工具,提供卓越的性能和可靠性。該工具具有出色的靈活性和可靠性,非常適合許多設備制造應用。
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