二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9262992 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9262992
晶圓大小: 8"
Plasma etcher, 8"
Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I Interface
Cassette interface: (2) HINE 38F indexers Electrostatic Chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm / 520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Gas Box:
Orbitally welded GB
Backside cooling MFC: 1250A
No remote gas box
Gases:
N2, 200 sccm, unit 1200A
CHF3, 50 sccm, unit 1200A
N2, 300 sccm, area
N2, 500 sccm, unit UFC 1660
CF4, 150 sccm, unit 1200A
SF6, 150 sccm, unit 1200A
He, 1 slm, unit UFC 1660
O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pump:
Pump controller: iQ Series entrance
Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
(2) SMC HRS018-WN-20-M Chillers
On-board AC Distribution type: Fused
No heated pumping manifolds
No high conductance Manifold
No ATM passivation module
No remote RF cart
No on-board RF generator
Chiller and RF included
Does not include vacuum pump
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5-Wire.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/asher是一種高性能、精密的儀器,旨在減少侵蝕、修改和在各種基板上創建復雜的圖案。Rainbow 4420是一種高度通用的蝕刻器/灰化器，能夠處理多種材料，包括石英、矽、砷化移動散劑和其他半導體材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420利用激光燒蝕、離子束輔助蝕刻、反應性離子蝕刻和化學氣相沈積等先進技術和技術，產生了嚴格的結果。Rainbow 4420具有廣泛的特定於應用程序的處理能力和功能,旨在滿足各種電子和半導體應用的特定工藝要求,包括形成一層薄薄的導電材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420具有這些先進的功能,並在可靠性和效率方面享有盛譽,它是一個一流的解決方案,可用於要求超精細特征準確性和可重復性的蝕刻和灰化請求。Rainbow 4420提供出色的性能和靈活性。它的模塊化設計確保可針對每一個應用程序優化可配置性,並且設備的開放式平臺體系結構有助於快速交換和優化本地參數。配備了強大的可配置晶圓分析系統，LAM RESEARCH Rainbow 4420允許實時精確測量和分析蝕刻和灰化結果的質量。Rainbow 4420具有高度可靠的機械單元和多用途的真空室選項陣列,以適應不同的過程,包括批處理、單片處理和直列處理。LAM RESEARCH Rainbow 4420利用先進的控制和溫度管理系統,確保過程的穩定性,減少機器引起的不均勻性。該工具還可以提供一個自動校準程序，以確保最佳的資產調整和性能。Rainbow 4420非常適合高端蝕刻和灰化需求,最多可裝載12種工藝配方,從而輕松創建復雜的工藝序列。為了提高操作精度和可重復性，LAM RESEARCH Rainbow 4420配備了兩個獨立的等離子體源，可用於蝕刻和灰化。高精度的過程結束監控功能有助於防止過度蝕刻和灰化,其高精度快門有助於將重復性提高到+/-0.2微米。憑借其先進的技術規格,Rainbow 4420為業界提供了一個功能強大、準確的解決方案,可用於廣泛行業的蝕刻和灰化應用。
還沒有評論