二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300193 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款用於半導體工藝技術的蝕刻器/asher。適用於晶片加工的正反兩面，可用於多晶矽蝕刻和灰化、金屬蝕刻和平面化等多種應用。4420旨在在長時間的處理過程中提供高均勻性、均勻性和吞吐量。4420是一種非接觸式工具，利用等離子體的蝕刻和灰化技術對目標基板表面進行化學蝕刻。刀具的雙腔室設計消除了基板的交叉汙染。4420能夠進行熱挖掘和退火處理，可以加工直徑達125毫米的基板。4420還擁有一個獲得專利的快速等離子體罐t/d開關，允許用戶從等離子體蝕刻快速切換到幹蝕刻。4420配備了一些先進的工藝技術，以實現一致的、可重復的結果。它提供了中高功率蝕刻工藝的高級調整,以及較慢、低功耗蝕刻的數字調整。此外，4420還有一個完全集成的16區域矩陣，允許用戶根據自己的具體應用需求定制流程。4420得到了LAM RESEARCH廣泛研發的支持，這也是其整體設計高度可靠穩定的原因。即使在惡劣的環境中,它也能夠長期穩定運行,使其成為大批量制造過程的首選。該工具有多種保護機制，以保護敏感基板免受損壞。此外，它與眾多的監測和過程控制系統兼容，提供了先進的可追蹤性和反饋。綜上所述，Rainbow 4420是一款先進、可靠的蝕刻器/asher，適用於各種高級工藝應用。它具有多區域矩陣和過程調整功能,可實現一致和可重復的結果,而其設計特點則可確保高均勻性和吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4420具有多重保護功能,是任何半導體應用的明顯選擇。