二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300194 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 9300194
晶圓大小: 6"
Poly etcher, 6".
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一種先進的蝕刻和灰化工具,用於制造高科技電子設備。此工具應用材料的薄層(如絕緣層)來創建陣列蒙版或其他結構。Rainbow 4420蝕刻和灰化器提供了高精度的蝕刻和灰化層,具有出色的重復性和均勻性。LAM RESEARCH Rainbow 4420配備了最先進的源室,裏面裝有剛性擋板和真空泵,提供了極其幹凈、無顆粒的環境。為保證高通量、低成本運行,系統配備了集成電阻加熱器,用於快速熱處理。彩虹4420還包含一個氣體櫃子,裏面有一個混合了氙氣、氧氣和氮氣,以及其他可能的氣體。這種氣櫃是完全自動化的,並提供完美的控制蝕刻條件.LAM RESEARCH Rainbow 4420以順序蝕刻和asher兩種模式運行,或並行蝕刻和asher。在順序模式下,晶片加載到系統中,然後執行第一次蝕刻,然後再執行灰分。在並發模式下,晶片同時受到蝕刻和灰化的影響。此模式非常適合層間隔離、選擇性、摻雜和保護層等應用。Rainbow 4420包含一個用戶友好的圖形用戶界面(GUI),便於編程和監控。GUI顯示所有相關參數,操作員可以根據需要對其進行調整,以優化結果並提高過程的可重復性。LAM RESEARCH Rainbow 4420蝕刻和asher還提供溫度和壓力的組合控制,允許精確和精確的蝕刻和灰化。Rainbow 4420是多種類型半導體和電子器件的理想蝕刻和灰化工具,提供了廣泛的優勢,包括出色的重復性、均勻性和低成本的操作。無論是在順序模式還是並發模式下使用,LAM RESEARCH Rainbow 4420工具都是在蝕刻和灰化方面取得卓越成績的絕佳選擇。
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