二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300199 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款蝕刻器/asher，又稱等離子體蝕刻器，設計用於沈積薄膜、蝕刻特征圖樣和創建支持設備加工的等離子體塗層。它可以將介電和多晶矽薄膜沈積在各種高度、寬度和深度。彩虹4420蝕刻器提供了蝕刻或粉刷多種材料的能力，包括多晶矽、氧化矽和氮化矽。蝕刻器還提供了出色的重復性和均勻性在材料蝕刻或灰化過程。LAM RESEARCH Rainbow 4420蝕刻器利用同步的S/D工藝來統一沈積和清潔基材。這一過程利用一個組合的射頻偏置，基板偏置和氣體註入蝕刻更均勻的蝕刻結構和清潔基板非常重復和均勻的方式。組合工藝還支持高質量蝕刻到盡可能低的成本。Rainbow 4420蝕刻器具有模塊化、靈活的體系結構,可提供跨材料、基材和蝕刻輪廓的高正常運行時間和一致性。該蝕刻器采用線性電動機驅動的旋轉工作臺，可快速切換基板，並在不同的限制和/或條件下提供靈活性。LAM RESEARCH Rainbow 4420蝕刻器還采用基於視覺的對齊系統，以減少手動對齊，進而降低人為失誤的風險。彩虹4420蝕刻器具有多個氣體通道和直接氣體註入，提供了最佳的氣流，從而提高了選擇性，創造了優化的蝕刻輪廓。它還利用渦輪泵浦、計算機控制的真空系統和負載鎖定技術，以最短的泵降時間確保清潔和一致的等離子體處理。LAM RESEARCH Rainbow 4420蝕刻器還配有一個用戶友好的控制系統，可以訪問配方，並在其圖形用戶界面上提供詳細的流程信息。該軟件具有強大的批處理能力，可用於加載、卸載和監控多個配方。該軟件還支持流程數據和存檔配方的可追蹤性,以供將來使用。總體而言,Rainbow 4420蝕刻器為業界提供了一種經濟高效的蝕刻和等離子體處理工具,該工具旨在實現各種蝕刻配置文件的可重復性和均勻性。蝕刻器獨特的設計提供了可重復和統一的工藝結果，使半導體制造商能夠獲得更可靠和一致可重復的結果。