二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9364647 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一種為提供高效晶圓蝕刻而設計的蝕刻器或asher設備。此系統以長2.5英尺（761毫米）、寬4.2英尺（1290毫米）的長方形加工室為特色。該工藝室配有對流底部清潔階段、輸送和引入不同氣體的氣體歧管和下遊等離子體蝕刻源。彩虹4420由一臺400 MHz射頻發電機供電，與電容耦合和電感耦合過程模式兼容。這使得設備具有足夠的通用性,可以處理各種過程要求。這臺機器在加壓和真空環境下運行，可以選擇蝕刻化學和技術。LAM RESEARCH Rainbow 4420適合做多種蝕刻技術，如各向異性、各向同性和深層反應性離子蝕刻（DRIE）。它還提供半自動晶片加載和後蝕刻基板去除，允許更大程度的過程控制。Rainbow 4420配置用於一次加載多達200個8英寸（200毫米）晶片,盡管此數字取決於所選的蝕刻化學性質。該工具提供每分鐘1-400埃的蝕刻速率。它還允許最多6個順序蝕刻步驟，這些步驟可以存儲在用戶定義的配方庫中。LAM RESEARCH Rainbow 4420是一種多功能蝕刻器或asher資產，提供大量蝕刻能力和工藝控制選項。其400 MHz射頻發生器允許廣泛選擇蝕刻化學和技術，蝕刻速率高達每分鐘400埃。它有一個大的加工室，一次最多可以容納200個8英寸（200毫米）的晶片，並提供多達6個順序蝕刻步驟。利用用戶定義的配方庫存儲蝕刻過程,Rainbow 4420可以為所有蝕刻應用程序提供可靠且可重復的結果。