二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 待售
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已售出
ID: 9374752
晶圓大小: 5"
Oxide etcher, 5"
Bulkhead system mount with tunnel covers
HINE 38A Open cassette
Send / Receive indexers
LED Monitor
ADVANCED ENERGY RF Generator
Moving gap
Back helium colling
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
Upper chamber gap drive encoder
Aluminum upper chamber electrode
Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm)
Low pressure chamber manifold
HPS Valve for chamber isolation
AC-2 Chamber pressure controller
Lower chamber RGA port
MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer
MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer
TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer
(8) Orbital gas boxes
(1300) UPC: He (50 SCCM)
Trip breakers AC / DC power box
Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高度先進的蝕刻/asher設備，專門設計用於半導體加工。該系統利用先進的蝕刻技術，能夠對各種基材進行精確蝕刻，如矽片、氧化層和各種電介質。Rainbow 4420采用模塊化結構,具有多個可配置選項。它包含一個高效的濕式加工室、氣體淋浴頭、等離子體輔助蝕刻單元，以及一個先進的動力、氣體和冷卻劑分配機，這些都集成在一個單元中。加工室設計為保持精確的溫度和壓力環境，允許高速精確蝕刻。氣體噴頭利用高濃度緩沖器和低溫等離子體來維持蝕刻氣體的溫度，並確保最大效率和操作可靠性。等離子體輔助蝕刻工藝提供了對蝕刻工藝的精確控制，確保了高質量的結果。LAM RESEARCH Rainbow 4420還包括一個先進的激光成像工具，能夠精確處理各種基板。這使得它成為低溫、高精度蝕刻以及高電流、高分辨率工藝的理想選擇。最後，Rainbow 4420在其建造中還內置了一系列安全功能，確保了所有運營商的完全安全。其中包括氫傳感器、惰性氣體輸送資產、緊急關機模型和集成診斷設備。診斷系統監視溫度、壓力和其他參數,並在其中任何一個值超出其預定範圍時通知操作員。總體而言，LAM RESEARCH Rainbow 4420是一個先進的蝕刻和灰化裝置，旨在提供精確、高質量的結果。它結合了精密蝕刻能力、可自定義的處理變量和強大的安全特性，使其成為半導體處理的理想選擇。
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