二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9384291
晶圓大小: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420是用於開發和制造復雜半導體器件的最先進的蝕刻/灰化設備。憑借其先進的技術,Rainbow 4420能夠在蝕刻和灰化過程中提供異常高的性能。LAM RESEARCH Rainbow 4420由於工作面積大，下腔頂部電極之間的距離可調，因此提供了極好的靈活性。為了增加工藝可靠性,Rainbow 4420配備了自動電極調節（AEM）系統,該系統允許快速、精確地對準下部和頂部電極,從而實現精確和可重復的工藝。該單元由自動計算機數值控制（CNC）機提供動力,使其能夠自動執行多個不同的蝕刻和灰化操作。這種數控工具具有高精度和最優的可重復性，可精確控制過程和重復性。為了提高安全性，LAM RESEARCH Rainbow 4420配備了真空室，在蝕刻/灰化過程中有助於保護基板的完整性。這減少了交叉汙染的可能性，有助於維持成品的質量。彩虹4420還能在高速運行的同時仍能產生優異的效果。資產可以運行各種過程配方,包括蝕刻和灰化,以確保滿足最復雜的要求。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款高度先進的蝕刻和灰化模型,它利用現有的最新技術提供卓越的效果。這種設備是為質量保證和卓越的工藝控制而設計的，是任何半導體開發和制造實驗室的絕佳選擇。
還沒有評論