二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9406916 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款批量等離子體灰燼/蝕刻器，設計用於各種研發和生產環境中的高通量處理。這款asher具有出色的工藝控制、先進的高密度等離子體技術、全面的環保等特點。Rainbow 4420提供了卓越的摻雜輪廓、步進覆蓋和晶圓均勻性。該設備還專門為無掩碼和單計數器處理而設計。LAM RESEARCH Rainbow 4420在多晶矽、poly-SiGe、SiO2、low-k薄膜等多種材料中提供最佳蝕刻性能。該系統對反應性離子蝕刻（RIE）工藝具有極好的控制，在寬晶圓尺寸範圍內提供了卓越的均勻性。Rainbow 4420還提供出色的均勻性和步進覆蓋率,具有較高的蝕刻速率和選擇性。該裝置有可配置的氣體輸送機，支持多種蝕刻技術和工藝。LAM RESEARCH Rainbow 4420還配備了高級UPAV、WSUV和ATXV單元等多項安全環保功能。UPAV（用戶保護和分析可見性）單元監視處理參數並確保工具中的最佳環境條件。WSUV（晶圓靈敏度單位）測量晶圓均勻性,並確保過程結果一致且可重復。ATXV單元控制揮發性有機物，凈化廢氣，確保安全的工作環境。Rainbow 4420還具有最先進的用戶界面，這使得控制蝕刻過程更加容易，更方便用戶。用戶界面允許用戶實時監控關鍵流程參數，並根據需要調整設置。該界面還具有警報和警告功能,在此過程中提醒用戶註意問題或異常。LAM RESEARCH Rainbow 4420是研發和生產應用的理想蝕刻器/asher,其中蝕刻工藝控制和精度是關鍵。提供卓越的吞吐量、過程控制和性能,以及卓越的安全和環境保護。強大的用戶界面和先進的監控系統使該資產成為任何蝕刻設施的絕佳補充。