二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9410077 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款為超高均勻性和吞吐量而設計的先進垂直蝕刻器和asher。它非常適合矽和非矽材料的圖案。這個獨立的單元提供從低壓等離子體到高能離子能量沈積的優越過程控制。該設備提供了獨特的氣體面板和創新的氣體混合系統，允許用戶精確匹配過程的目標材料。使用外部氣體面板，可以實現均勻的原位蝕刻和清潔。三維光學單元提供了分辨率為250 nm的工藝區內外圖像。在Rainbow 4420中，磁陣波導對平面和圓柱基板都提供了極為均勻的處理。加上機器的等離子體過程，陣列波導能夠調整參數以匹配正在處理的材料。LAM RESEARCH Rainbow 4420專為優越的特性轉移而設計。一個先進的腔室和可變多離子源工具的組合，在低電阻率下實現了優異的特征定義。此外,該設備還可以通過幹蝕刻工藝實現超低的進刀速率和小直徑到1.5 μ m的特征輪廓。彩虹4420非常適合大批量生產復雜結構。這是通過提供高達20 nm的高分辨率功能的高級多步驟陣列處理完成的。此外，它的多步高長寬比沈積工藝允許更高的面積填充要求，而不影響產量。LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款可靠而健壯的機器，高度自動化，具有極好的可重復性。它與LAM RESEARCH分布式智能平臺集成,消除了手動錯誤,簡化了數據導出。此外，該資產還包括若幹安全特征和廣泛的煙囪選擇，以保護人員和產品。總體而言,Rainbow 4420是一款功能強大的蝕刻器和asher,可提供最高級別的過程控制、特征轉移和一致性。該模型獨特的氣體面板非常適合將工藝與目標材料相匹配，而其磁陣波導則能實現卓越的特征定義和區域填充。LAM RESEARCH Rainbow 4420是高容量生產分辨率低至20 nm的復雜結構的理想選擇。