二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411613 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一款在半導體應用中提供無與倫比的精確度和工作效率的蝕刻器/asher。彩虹4420具有廣泛的先進功能，旨在最大限度地提高吞吐量，包括強大的控制設備、多種蝕刻配方以及精確的溫度和壓力控制。該系統的強大設計允許更高的精度和一致性蝕刻和灰化結果。LAM RESEARCH Rainbow 4420為用戶提供了在單個蝕刻或並發蝕刻/灰分循環之間進行選擇的靈活性,具體取決於所需的過程。多個運行也可以組合為一個操作。該設備的控制機具有直觀的用戶界面,允許快速的配方設置、參數調整和數據日誌記錄,以實現最大的流程優化和可追蹤性。該工具的雙加工室允許同時運行多個蝕刻過程，每個室有一個單獨的氣體輸送資產。彩虹4420還具有獨特的大氣控制模式，采用先進的射頻控制氣流設備，提供精確的氣流控制和均勻的腔室冷卻。該系統還具有一個先進的冷卻裝置，以保持室內溫度一致，允許重復和精確的晶圓結果。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/asher真空容量為1 Torr，嚴密工藝溫度範圍為-15°至+30°攝氏度。可以創建和存儲多個蝕刻/灰分配方,每個配方具有可調參數,如蝕刻精度、速率、溫度和時間。該機還提供了一系列不同的蝕刻氣體，允許蝕刻20多種不同的材料，包括多晶矽、鎳和鋁。該工具還具有保護人員和設備的高級安全功能,例如基於射頻的互鎖資產,以防止意外的射頻幹擾。Rainbow 4420被設計為極具能源效率，估計每小時蝕刻的總能耗為14 kWh。該設備還具有內置風扇和警報模型,可在設備接近其最大容量時向人員發出警報。LAM RESEARCH Rainbow 4420 蝕刻器/asher是一個最先進的系統,非常適合希望在蝕刻和灰化操作中實現最大生產力和精確度的實驗室、公司和大學。這個大容量的工具提供準確和可重復的結果，使設施能夠快速和可靠地生產晶片和/或組件。Rainbow 4420的易用性、堅固的設計和精確的控制功能,對於那些希望最大限度地提高其蝕刻和灰化操作效率的用戶來說,是一個極好的選擇。