二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411620 待售
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已售出
ID: 9411620
晶圓大小: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher是一種先進的微電子電路制造的蝕刻和起重裝置。是介電沈積、環環形成、氧化硬化的理想選擇。Rainbow 4420允許對直徑達150 mm的基板進行精確、均勻的加工,最大高度為25 mm,用於升空加工。它包括一個多層次的過程控制選項,允許可調節的溫度、壓力和時間周期參數,以提高過程的可重復性和生產效率。LAM RESEARCH Rainbow 4420采用兩室配置。蝕刻室提供了大氣等離子體技術的好處,為均勻蝕刻提供了清潔、低顆粒的工作環境。升降機室提供基板的自動化處理,以及高性能的磁驅動聚焦機構,以提高工藝精度。Rainbow 4420的蝕刻室設計為提供無抗蝕劑、灰塵和金屬顆粒的清潔加工。室內溫度控制,便於處理工期。其數字控制系統允許有效利用天然氣資源和蝕刻結果。LAM RESEARCH Rainbow 4420的升降機室配備了專有的高性能分段式磁力驅動聚焦元件,提供了高度精確的結果。該腔室還提供了一個旁路站,用於將基板轉移到起重機室。Rainbow 4420具有精確的過程控制功能,具有廣泛的可編程參數,包括壓力和溫度設置。通過平穩的操作和精確的控制,這可以使設備產生一致的結果。它還設有一個材料管理機器,以確保氣體和化學品的精確混合,以完善的過程控制。LAM RESEARCH Rainbow 4420工具帶有一個直觀的基於Windows的軟件界面,使操作員能夠完全控制蝕刻過程以及提升過程。這允許進行深入的監視、性能調整和數據記錄,以實現最大的控制和準確性。Rainbow 4420是一種精密的蝕刻和升降機,為微電子電路制造提供了最高水平的精度和控制。它具有強大的處理能力和精確的控制能力,可幫助用戶在制造過程中獲得最大的效果和生產力。
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