二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293828102 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420B是一種蝕刻器/asher,設計用於在寬材料和特征尺寸範圍內生產高質量、均勻的蝕刻。這臺高度自動化的設備配備了一個離子源和一個設計為精確對準的控制器，允許快速準確地放置離子，以獲得最佳蝕刻速度和均勻性。控制器能夠控制源頻率和功率,從而能夠為高長寬比蝕刻和等離子體清洗等應用設置多個等離子體頻率和功率級別。它在反應堆室內保持離子均勻分布的能力進一步確保了均勻蝕刻輪廓。彩虹4420B設有兩個獨立的反作用室，兩者均采用不銹鋼制成，以提高耐腐蝕性。腔室由USB控制，便於設置和操作。兩個腔室都配有射頻電源，能夠控制功率水平。單一氣體輸入系統允許將Ar、N2、O2和其他工藝氣體引入蝕刻器/灰化器。此外，該單元還配備了先進的溫度控制器、真空控制機和精密的診斷工具等功能，這些都是為了優化資產性能而設計的。溫度控制器允許對兩個反應室進行精確的溫度控制，真空控制模型提供了過程壓力的快速傾斜。LAM RESEARCH Rainbow 4420B還配備了薄膜反射率測量、石英晶體監視器、光學幹涉儀等先進的測量能力。這些功能旨在促進過程控制,並允許實時監控蝕刻過程。Rainbow 4420B結合了精確度、靈活性和均勻性,為蝕刻和灰化應用提供了出色的解決方案。它的高級功能和自動化操作可提高流程重復性和高吞吐量,而其復雜的診斷功能可實現快速故障檢測。對於需要快速、高密度蝕刻和均勻特征尺寸的應用,該設備是一個極好的選擇。