二手 LAM RESEARCH Rainbow 4428 #9272635 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4428是一種蝕刻器/灰化器,具有蝕刻或灰化多種材料的能力,包括矽、氧化矽、GaAs和GaN。它是大容量蝕刻和灰化工藝的理想選擇,旨在通過提高吞吐量和控制成本來提供最大的投資回報。彩虹4428的溫度範圍為25°C至250°C,氣流和壓力設置可調。它還具有一個渦輪馬達,提供高速和高效蝕刻過程。它能夠產生超高純度的結果,並有一個自動清洗設備,以確保在蝕刻室內的高水平的清潔。LAM RESEARCH Rainbow 4428采用大容量負載鎖設計,可提高蝕刻/灰度速率。載荷鎖還可以減少熱對被加工零件的影響。該系統能夠控制氣體輸入以確保精確蝕刻,並且與各種前體源兼容。彩虹4428還包括一個高速壓力泵單元,以提供最高級別的蝕刻/灰度性能,從而最大限度地提高工藝效率。該機設有石英反應堆室,確保蝕刻工藝清潔高效。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4428配備了直觀的用戶友好界面,便於操作。它還有一個空氣軸承驅動的升降臺和先進的安全功能,以提供可靠和安全的操作。升降臺的設計使晶片支架無論是盒式磁帶還是托盤都能快速方便地定位。升降臺還設計用於在蝕刻過程中提供出色的樣品對準。總體而言,Rainbow 4428是小型和大型生產各種基材的理想蝕刻器/asher。它采用了工藝控制方面的最新技術進行設計,以最大限度地提高準確度,最大限度地減少不確定性,並配備了安全功能,以確保可靠和安全運行。
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