二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #151093 待售
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已售出
ID: 151093
晶圓大小: 8"
優質的: 1991
Oxide etcher, 8"
Standalone configuration
Software: Envision
Wafer held by electrostatic chuck
Plumbed for gases: Ar, He, N2, O2, CF4, CHF3
Power: 208 Volts, 3-phase, 30 Amps
Ergonomic cassette-tilt option
1991 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4500 蝕刻器/asher是一個先進的兩用半大氣系統,提供精確可靠的等離子體蝕刻和濕法處理能力。適用於多種高端先進鍍蝕刻應用。Rainbow 4500帶有一個完全集成的x, y, z階段,允許用戶從頭到尾精確控制蝕刻和鍍層過程。它靈活的設計允許用戶利用同一臺機器實現完整流程的自動化。它的大腔室尺寸使得它成為蝕刻或鍍大基板的絕佳選擇。LAM RESEARCH Rainbow 4500專為先進的等離子體蝕刻和粉刷應用而設計。它采用先進的射頻電源進行精確蝕刻和均勻沈積。產生的射頻能量集中在蝕刻室內,從而在所有蝕刻應用中具有高度的準確性和可重復性。Rainbow 4500配備了多種標準功能,使用戶能夠量身定制自己的蝕刻和電鍍工藝。這些特性允許用戶控制諸如蝕刻速率、蝕刻深度、沈積速率、薄膜特性、蝕刻輪廓、甚至層厚度等過程變量。LAM RESEARCH Rainbow 4500的灰度部分可以處理多種過程,包括化學氣相沈積和幹蝕刻。它還能夠控制擴散、輪廓和模式化過程。此功能使用戶可以創建傳統電鍍方法難以實現的獨特而復雜的結構。Rainbow 4500在性能和多功能性方面處於行業領先地位。當與高端鍍層或蝕刻工藝結合使用時,它可提供優異的效果。它的集成特性允許精確和可重復的過程控制,確保每一個蝕刻或鍍基板是質量最高的。因此,LAM RESEARCH Rainbow 4500對於需要無與倫比的精度和可重復性的蝕刻和鍍層應用來說是一個絕佳的選擇。
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