二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293595658 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款基於等離子體的蝕刻器/asher，設計用於生產、研究和其他需要對各種材料進行精確蝕刻和灰化的應用。該設備非常適合微電子、光電子、生物電子等的蝕刻和灰化。它提供了高吞吐量,在某些蝕刻應用程序中的周期時間小於20秒,並且具有實現廣泛蝕刻參數的靈活性,以適應不同垂直市場的工藝要求。彩虹4500利用冷陰極、感應耦合等離子體（ICP）和渦輪泵送技術，從包括SF6、CF4、O2、Ar等稀有氣體在內的化學前體產生高密度等離子體。其低熱預算為敏感材料基材，如GaAs和其他III-V化合物提供了更高水平的控制，而其先進的均勻性控制則確保了高要求塗層和蝕刻應用的準確性和可重復性。該系統還配備了最新的工藝自動化技術，包括自動化氣體輸送、壓力和溫度控制以及等離子體功率監測。該單元能夠編程多達15種不同的工藝配方,從而實現快速高效的工藝工具調整。此外，其先進的監測功能監測基板溫度和腔室壓力，以確保安全和可重復操作。LAM RESEARCH Rainbow 4500的占地面積僅為2 x 3英尺,因此可以輕松集成到任何實驗室或制造環境中。蝕刻器/asher還具有各種用於安全連接和易於安裝的附件,以及用於快速輕松設置的教程庫。該機器非常可靠,在大多數應用程序中可提供高達98.5%的正常運行時間,因此非常適合高混合生產需求。總體而言,Rainbow 4500是一款高度先進的蝕刻器/asher,它為電子元件的蝕刻和粉刷提供了一個強大而靈活的平臺。它具有先進的工藝控制、廣泛的配件和可靠的操作，使其成為各種生產和研究應用的理想選擇。