二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796 待售

LAM RESEARCH 4500是一種用於幹蝕刻工藝的反應性離子蝕刻器（RIE）設備。它配備了一個26厘米LAM RESEARCH平行板大面積等離子體源的CO2/SF6，提供高蝕刻速率和均勻性。該系統容納200毫米晶圓，可以均勻地蝕刻具有一系列摻雜水平的表面。它能夠蝕刻具有挑戰性的材料如Al2O3、SiO2和有機材料。該裝置有13個加工室，可用於更精密、更精確的蝕刻晶片工藝。通過控制晶片進紙器提高了蝕刻工藝的精度，該進紙器可以容納不同晶片上一致的厚度。該機還具有精確的速度浮帶工藝，使蝕刻工藝能夠精確地調整到被蝕刻的材料上。該工具的其他功能包括溫度和壓力控制,以幫助創建可重復且一致的蝕刻過程。4500可用於蝕刻多種材料，如金屬氧化物、化合物、氮化物、烯烴等。憑借其精密的蝕刻工藝和長期的可靠性，非常適合多種應用，包括MEMS器件、納米技術和微編造電路。