二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293762182 待售

ID: 293762182
晶圓大小: 6"
Etcher, 6" ADVANCED ENERGY PDW 2200 RF Generator.
LAM Rainbow 4500是一款高性能、激光輔助的化學蝕刻設備,設計用於處理氧化物、聚酰亞胺等薄膜材料。這個先進的蝕刻系統結合了紫外線(UV)激光燒蝕和化學蝕刻技術,以比其他蝕刻系統更快的速度取得優異的成績。Rainbow 4500具有高精度的3軸運動控制單元,在蝕刻過程中提供出色的重復性和準確性。三軸中的每一軸都有自己的專用伺服電動機和車載驅動程序,提供對蝕刻過程的精確控制。該機還包括一種半導體激光器,用於將紫外線激光束精確定位和繪制到基板表面上。這種紫外線激光器的波長為355nm,能夠產生30 µm以下的光斑尺寸。為了優化蝕刻效果,LAM Rainbow 4500有一個集成的過程控制工具。通過計算機化的工藝控制資產,用戶可以同時調整激光參數和化學解決方案,以使蝕刻工藝適應特定的任務。該模型還具有穩固的安全特性,包括對沈積速率降解、孔填充等進行回縮。Rainbow 4500配有自動化的清潔和幹燥設備,便於維護。該系統可確保蝕刻器隨時可用,並最大程度地減少停機時間。其耐用的構造使其成為工業和研究應用的可靠、長期的工具。綜上所述,LAM Rainbow 4500是一款結合激光燒蝕和化學蝕刻技術,快速準確加工薄膜材料的最先進的蝕刻裝置。其計算機化的過程控制機提供精確的控制和靈活性,並以其自動清洗和幹燥工具易於維護。其卓越的精度和可重復性使其成為各種行業和研究應用的理想工具。
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