二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9231666 待售

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ID: 9231666
晶圓大小: 6"
Oxide etcher, 6".
LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款全自動蝕刻器/asper,專為高生產力蝕刻和灰化操作而設計。適用於各種工藝技術的各種應用。Rainbow 4500旨在簡化實施,同時提高制造效率。4500具有先進的形狀定向控制系統,它利用多軸運動能力和粘合的晶片,粘結的尺寸可達6英寸。其靈活的架構允許簡化設備集成和節能流程操作。4500有多種來源,提供各種等離子體蝕刻和清洗氣體的蝕刻和灰化操作能力。4500還采用了先進的溫度控制技術,將溫度變化從晶圓到晶圓最小化。它能夠在低溫應用下進行蝕刻和灰化,並且能夠以極高的精度去除晶片中的鎢類。4500還具有綜合安全功能,如緊急氣體關閉、自動過程監控和安全距離,以確保安全運行。4500是用先進的四點室建造的,以確保在大面積上過程結果的均勻性。這使得它能夠以均勻的能量分布有效地蝕刻和灰化,使其成為生產和開發過程中的可靠工具。4500提供智能負載端口、內置視覺系統、自動晶圓監控和數據分析功能。它還具有智能晶片定位管理,以消除任何潛在的晶片定位問題。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款先進的蝕刻機,具有多種來源和功能,可提供高效、統一和準確的操作。其集成的安全系統和溫控室,加上先進的四點腔室、晶圓定位管理和智能負載端口,使其成為各種蝕刻和灰化應用的理想工具。此外,它能夠準確地從晶片中除去鎢使其成為生產和開發過程中的理想工具。
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