二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9262478 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4500是一款先進的蝕刻機和asher設備，專為高效制造基材、元件和微電子而設計。該系統結合了滾筒、火炬和基於擴散的蝕刻和灰化技術，提高了工藝控制和精度。Rainbow 4500是一個易於使用的平臺，占地面積緊湊，非常適合處理高度專業化的基板。它利用各種流程配方、配方任務以及內置的流程保護和反饋功能,使用戶能夠高效地管理流程變量。該裝置采用可傾斜、高通量的工藝室，在蝕刻和灰化過程中實現高效的均勻性和可重復性。壓力密封室的蝕刻/灰化溫度範圍很廣，允許均勻的溫度以及氣流擴散。該腔室還配備了一個推進器區域，方便基板定位和操作，以及可調節的基板支架，用於精確定向和均勻的蝕刻/灰燼工藝。LAM RESEARCH Rainbow 4500利用高性能的火炬模塊,具有廣泛的電源設置和駐留時間,使用戶能夠完全精確地實現蝕刻和灰化要求。火炬能夠使用廣泛的氣體，例如氧氣、氮氣、氙氣和二氧化碳，同時在整個腔室內提供均勻平衡的溫度，從而產生優化的過程和更高的產率。Rainbow 4500還具有先進的工藝控制功能，以及壓力、溫度、流量等多種參數，可以實時調整或預先安排。LAM RESEARCH Rainbow 4500憑借其板載配方記憶，可輕松存儲和召回流程，輕松重復和再現流程結果。簡而言之，Rainbow 4500是一款非常高效的蝕刻機/asher機，旨在幫助制造純凈的基板、組件和微電子，具有無與倫比的精度、均勻性和可重復性。該工具的高級功能、尖端工藝控制和可變參數使其非常適合各種應用。