二手 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9276087 待售
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LAM RESEARCH 4500是一個行業標準的蝕刻和灰化系統,它為各種半導體和MEMS應用提供卓越的蝕刻和灰化性能和準確性。是矽、鋁、銅、鎳、金等多種材料精密蝕刻和灰化的理想工具。4500是一種電感耦合等離子體(ICP) 蝕刻器/asher,具有各種功能,使其成為一種強大而可靠的蝕刻和灰化工具。LAM RESEARCH 4500提供高精度功能、可重復性能和低擁有成本。它能夠在高通量和緊密公差下進行蝕刻和灰化,並具有選擇性區域蝕刻和可選的離子束。它具有高度的用戶自定義功能,允許用戶定制其流程設置以滿足應用程序要求。4500配備了先進的流程監控系統,允許用戶根據需要調整流程參數。蝕刻器/asher還配備了PID控制系統和數字控制器,可確保最佳性能。數字控制器還允許用戶執行自定義蝕刻和ashing配方以實現更大的過程控制。LAM RESEARCH 4500配備了廣泛的軟件和硬件功能,使其適合各種材料蝕刻和灰化應用。它提供靈活的腔室配置、先進的氣體輸送系統以及廣泛的壓力設置,以實現所需的工藝效果。此外,它還包括高級基板處理和加載端口自動化系統,以及後處理診斷。總而言之,4500是一款出色的蝕刻器/asher,可為用戶提供業界最高的精度。它具有高度的可自定義性,並提供多種功能和軟件控制。其高吞吐量、高精度、先進的工藝控制和監控系統使其適合各種蝕刻和灰化應用。
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