二手 LAM RESEARCH Rainbow 4501 #9196384 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4501 Asher/Etcher是一種高產、先進、高通量的等離子體蝕刻和化學氣體加工設備。該平臺提供了創新的高四分之一腔設計,允許蝕刻基板和灰化基板同時進行加工,從而顯著提高了吞吐量和產量。該系統具有出色的控制精度,精度為+/-5nm,並具有亞微米自對準晶片卡盤,可處理直徑達300 mm的晶片。該單元配備了一個大的、直觀的、圖形化的用戶界面，並具有高度自動化、可重復的過程，能夠實現可重復的統一和易於操作。彩虹4501具有高效的負離子回旋共振（NICR）源，以極大的工藝靈活性和高選擇性同時輸送離子、自由基等物種，使機器能夠滿足各種應用的要求。對於外部低溫應用，該工具可以配置一個機器人同時處理多達三個工藝室。該資產提供了更大的工藝靈活性，可以使用廣泛的工藝化學方法，包括蝕刻、灰化、開槽和納米顛簸。它以每小時500晶圓的速度提供高生產率,並且能夠在單個進程運行中處理具有不同進程的多個樣本。它還具有有效選擇和維護多種氣體和灰分化學的特點。該模型帶有內置的計算機硬件和軟件，便於配方和設備管理編程。LAM RESEARCH Rainbow 4501能夠提供低角度、高縱橫比蝕刻的卓越輪廓控制。它具有卓越的均勻性,均勻性等級為2 sigma +/3 sigma +/4 sigma,溫度控制範圍為68°C至550 °C。它還提供寬廣的溫度和壓力控制範圍，允許溫度高達600 °C，壓力高達500 Torr的過程。此外，該系統還通過先進的過濾系統提供了優良的顆粒控制和壽命管理，提供了必要的清潔環境和卓越的工藝控制。這種整體的結果是一個健壯的單元設計，以提供最佳的角度和長寬比控制和精確的溫度和壓力控制。