二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293640389 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一種蝕刻器/灰燼設備，利用先進技術在包括晶圓和金屬在內的多種基材上蝕刻和灰燼。LAM RESEARCH RAINBOW 4520XL提供了一種先進的高縱橫比溝槽蝕刻系統，以及超深凹槽蝕刻和高分辨率高難度基板蝕刻。Rainbow 4520 XL具有業界領先的性能,能夠以一致的均勻性和細線尺寸刻蝕淺溝和深溝。該裝置采用高壓渦輪噴氣輸送機，與高精度等離子體源集成，最大限度地提高生產率，提供可靠的工藝效果。4520 XL上的氣體輸送選項還允許用於不同工藝應用的各種蝕刻化學。該工具采用閉環自動縫隙掃描資產，采用創新的雙氣體噴射器設計，允許對精密蝕刻和灰燼工藝進行一致的氣流控制。該模型利用先進的過程控制算法，確保了最優氣流、氣壓和蝕刻/灰燼參數的一致滿足。燃氣噴射器設備還設計用於在使用較薄的層進行蝕刻時提供優化的工藝流程。RAINBOW 4520XL在蝕刻不同基材（包括不銹鋼、鋁、鈦和其他金屬）方面提供業界領先的性能。這些基板的高速、高分辨率蝕刻確保即使是最困難的幾何形狀也能實現。該系統還提供了多種高級功能,包括集成的過程監控、故障檢測和診斷以及過程性能優化。集成的流程監控單元具有多種警報功能,可輕松配置這些警報,以提醒操作員需要解決的任何錯誤或流程問題,故障檢測和診斷機器可以提供寶貴的反饋和流程數據,以識別可能需要解決的任何流程問題,從而獲得最佳結果。最後,高級工藝優化功能允許動態調整蝕刻速率、晶圓位置和蝕刻/灰燼參數,從而確保達到最高水平的生產率和工藝質量。綜上所述，LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一款蝕刻器/asher工具，為具有高縱橫比溝槽、超深凹槽蝕刻和高速、高分辨率蝕刻的蝕刻晶片和金屬提供了前沿性能和工藝靈活性。該資產旨在提供最高級別的流程質量、生產率和流程可重復性,同時還為操作員提供高級流程監控、故障檢測和診斷以及流程優化功能,以確保獲得最佳結果。