二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293819123 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Rainbow 4520 XL是一種用於半導體制造工藝的蝕刻器/asher。它是一種高精度、經濟高效的工具，可用於以極高的精度和可重復性蝕刻和沈積材料。ONTRAK Rainbow 4520 XL提供了先進的工藝控制和對傳統蝕刻方法的巨大改進。LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL是一款電腦控制的三軸蝕刻器，基板尺寸可達300 x 400 mm（12 「x 16」）。它具有高精度、高速、數字控制（HPDC）設備,可實現精確、可重復的蝕刻和沈積過程。該系統能夠以微米級的控制和最小的殘留進行極其精確的蝕刻。HPDC與基於Windows的圖形用戶界面（GUI）耦合,因此用戶可以實時設置參數、修改配方和監視蝕刻操作。彩虹4520 XL非常適合矽、玻璃和金屬等材料的高精度蝕刻和沈積。該裝置具有廣泛的蝕刻和灰化氣體，包括SF6/Cl2、N2/CH2/H2、O2/N2和O2/H2/Cl2。該裝置還包括一個具有可調功率水平和諧波的堅固的等離子體源，從而改進了過程控制。LAM RESEARCH/ONTRAK Rainbow 4520 XL的設計考慮了安全性和效率。為確保工人安全，該機器采用自動排氣工具和聯鎖裝置，以防止未經授權操作。該資產還設計用於盡量減少維護，沒有活動部件，沒有水冷，也沒有危險化學品。此外,該模型還包括自我診斷和維護功能以及預測性維護算法,以實現最大的正常運行時間和成本節約。總體而言，ONTRAK Rainbow 4520 XL是高精度蝕刻沈積操作的絕佳選擇。它提供了巨大的速度、準確性、過程控制和安全性。這種經濟高效的設備可用於各種材料，確保半導體器件的高質量蝕刻和沈積工藝。