二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520超高通量asher and etcher是為先進半導體器件開發而設計的高性能設備。Rainbow 4520是研發、材料科學和生命科學應用關鍵批量處理的理想選擇。該系統由多個腔室組成，能夠在蝕刻（幹）和灰化（濕）模式下運行。LAM RESEARCH Rainbow 4520采用300度旋轉爐和總共9個獨立控制氣體輸入的精密工藝控制，實現了多種工藝流程。內置嵌入式計算機允許用戶輕松地對過程的每個步驟進行編程、監控和控制。內置多室提供了操作的靈活性,能夠在多種配置中運行低、中、高熱蝕刻過程和高溫灰化。該單元可以在所有操作模式下輕松監控和控制，對腔室內的溫度進行實時監控，允許調諧以最大限度地提高工藝吞吐量和產量。此外，Rainbow 4520具有獨特的射頻等離子體源，配有氣體註入碗和內置耀斑，允許在低溫下進行均勻的等離子體處理，增強吞吐量、附著力和均勻性。集成射頻源產生低功率等離子體，是研制新型光刻膠、增強灰度選擇性、提高蝕刻速率均勻性的理想選擇。LAM RESEARCH Rainbow 4520還具有界面診斷功能,以確保蝕刻和灰化過程的質量。多項附加功能使Rainbow 4520成為可靠而出色的蝕刻和灰化機。這些功能包括完全自動化的配方控制傳輸工具和旨在防止錯誤處理的樣本完整性驗證資產。總體而言，LAM RESEARCH Rainbow 4520是任何尋求高性能蝕刻和灰化模型的人的絕佳選擇。其精巧的特性和穩健的設計使其成為研發、材料科學和生命科學應用的理想選擇。該設備具有多種工藝流程、精密工藝控制、集成射頻源和界面診斷功能,可提供卓越的性能和可靠的結果。