二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9098084 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款最先進的蝕刻器和asher，旨在以最高效率執行精確的微機械加工任務。這款多合一設備提供集成的單晶片和批量處理能力，具有滿足廣泛工業需求的靈活性。Rainbow 4520是同類產品中最先進的機型之一,它在一個方便的解決方案中提供卓越的工作效率、性能和可靠性。在技術規格上，LAM RESEARCH Rainbow 4520具有10英寸（254毫米）的載荷鎖，單晶片處理的載荷/卸載時間僅為8.5秒，批次載荷為16秒。這是通過高速晶圓傳輸系統實現的，由強大的9安培、30 W無刷直流電動機驅動。此外,Rainbow 4520的最佳蝕刻/吸氣速率為每分鐘10個晶圓,優於競爭對手。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4520還有一個自動室內清潔裝置，帶有先進的澆頭，可同時為兩種基板提供有效的清潔。該機還具有一系列先進的過程控制功能，確保了最優的過程控制和可重復性。這包括對多個數據點進行精確的實時測量和反饋，根據配方中設置的參數進行調整。此外,Rainbow 4520還具有各種蝕刻/抽吸功能,並具有可選的Etch Plus和/或Aspirate Plus功能。這確保了從基本蝕刻到難以實現的長寬比的多功能性,以解決具有挑戰性的過程要求。該工具還配備了全自動故障檢測操作、關機恢復和相關診斷,以改善資產正常運行時間。最後,LAM RESEARCH Rainbow 4520采用高增壓射頻電源,通過基於過程壓力和溫度自動控制射頻功率,提供更高的蝕刻速率。這種驅動能力得到了一個閉環甲烷流量模型的支持，該模型旨在保持精確的氣體流量，確保過程結果一致。一種先進的自動清洗功能可以監控蝕刻室內的碳含量，以限制汙染並延長腔室的保質期。總之,Rainbow 4520是一款高級蝕刻器/asher,在一個集成解決方案中提供卓越的性能、管理和自動化功能。它具有較高的生產率和改進的過程控制，是快速實現精確微加工效果的理想工具。