二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是業界領先的蝕刻器/asher,專為高級蝕刻和灰化應用而設計。Rainbow 4520具有雙光束激光技術,可實現高通量和高生產率,具有獨特的腔室設計,可實現最佳等離子體密度,以及廣泛的工藝和環境控制選項。LAM RESEARCH Rainbow 4520配備了高功率射頻和直流電源，允許用戶通過對兩個電源的獨立控制來定制自己的流程。蝕刻器/灰化器提供了多種工藝配方,允許各種蝕刻、灰化、沈積和清潔工藝。所有流程都經過優化,以提高吞吐量和產量。Rainbow 4520獨特的腔室設計提供了雙束激光器能量的高效利用和均勻的等離子體密度。這樣就可以實現功能精細的流程,且泄漏最少,從而減少了手動幹預的需要。該室還具有用於反應性物質的多種來源和用於增強工藝控制的PECVD真空。LAM RESEARCH Rainbow 4520還提供了一整套專有軟件工具，從流程自動化到流程監控和數據記錄。此外，設備支持計量和傳感技術，如剖面圖、光譜、橢圓偏振和非接觸式光學，以確保精確的過程控制。綜合系統在所有蝕刻和灰化過程中提供全面的過程控制。彩虹4520配備全面、用戶友好的界面，確保安全、用戶友好的操作。該單元經過驗證和校準，以實現精確的可重復過程，並具有根據用戶反饋進行進一步校準或改進的能力。該計算機還提供遠程訪問以實現遠程數據存儲和支持,確保客戶在需要時提供支持。LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款大型生產的理想蝕刻器/asher，旨在實現比傳統光刻和蝕刻工具更快的循環時間和更高的產量。Rainbow 4520具有高性能、強大的功能和易於使用的界面,是高級蝕刻和灰化應用程序的行業領導者。