二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9176778 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款先進的蝕刻/asher設備,旨在實現高級電子產品的大批量生產。4520是針對介電蝕刻和灰化應用優化的高通量、高精度等離子處理解決方案。它能夠處理每個循環多達5個晶圓，並且設計用於操作廣泛的氣體，包括氟仿、三氟化氮、硫酸和XeF2。4520也與正負晶片偏置電壓條件完全兼容。Etcher/Asher系統用於半導體制造、LED生產和其他先進的電子產品線。它可以實現高蝕刻速率和嚴格的過程控制，具有極好的重復性，使其成為大批量生產的理想解決方案。該單元能夠在多個級別和序列上執行蝕刻,並在其高級軟件算法中存儲參數設置。Rainbow 4520有一個大的、8英寸的液晶觸摸屏顯示屏，允許操作員輕松調整參數、監控蝕刻速率和查看狀態。它能夠運行自動等離子體流，以最大限度地提高流程精度和吞吐量。它還配備了創新的氣體安全殼設置，以確保安全高效的運行。該機器具有許多高級功能,例如高度穩定的設定點控制和實時反饋控制,以確保從一批到下一批的過程可重復性。它還配備了先進的腔室控制工具，可以檢測氣體流動中是否存在顆粒和汙染物，並提供自動調節，以確保可重復的過程。LAM RESEARCH Rainbow 4520還可以與其他工藝設備集成，如烘幹機和負載鎖，創建一個完全集成的生產資產。它是一個堅固、高度精確的蝕刻和灰化模型,旨在以最小的維護要求提供工業級別的性能。