二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9248825 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520
ID: 9248825
Etcher Does not include ceramic ESC chuck.
LAM RESEARCH Rainbow 4520是蝕刻和灰化工藝的高級平臺。此設備旨在以最高的吞吐量速率提供最高質量的結果。它包括最新的蝕刻技術,如離子銑削、熱輔助蝕刻和反應性離子蝕刻,以及灰化、沈積和濺射。Rainbow 4520 蝕刻器/asher可以配置一系列選項,以提供靈活性、精確度和低擁有成本。LAM RESEARCH Rainbow 4520 蝕刻器/asher結合了嵌入式控制器和數字信號處理器(DSP),用於高速自動控制。該系統提供了廣泛的等離子體過程自動化,如配方控制和脈沖級控制。用戶可以實時監控蝕刻過程,允許實時反饋發送到過程中以確保準確性。Rainbow 4520還包括一系列先進的安全功能,包括自動關閉保護、防止溫度過高和工藝氣體浸出。LAM RESEARCH Rainbow 4520 蝕刻器/asher提供一系列蝕刻和灰化工藝。該單元配備了包括LAM RESEARCH專利雙極-HF機在內的一系列蝕刻沈積系統。該工具還包括一個集成的負載鎖定,允許在蝕刻和灰化過程之間快速高效地過渡。該資產還支持各種基板,包括各種金屬和合金、鋁、矽和碳以及一些半導體材料。Rainbow 4520 蝕刻器/asher的設計考慮到了較低的總擁有成本。此模型提供了高級功能,例如無與倫比的過程控制、一致的過程結果和較低的維護成本。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520 蝕刻器/asher的設計目的是使設備的使用壽命最大化。它結合了一系列高級維護和診斷功能以及較短的流程周期,以幫助降低維護成本。Rainbow 4520是一款高級蝕刻器/asher,具有一系列功能,可為用戶提供質量最高、總擁有成本較低的結果。該系統配備了業界領先的蝕刻沈積系統、用於高速自動控制的嵌入式控制器和DSP以及一系列安全功能,以確保用戶安全。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520 蝕刻器/asher還提供高級診斷和維護功能,並具有較短的工藝周期時間,可延長設備壽命。
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