二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9277852 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher是一款世界級的底物加工蝕刻器/Asher,具有卓越的硬件配置和先進的工藝,可提高工藝控制和均勻性。Rainbow 4520 Asher的特點包括快速熱退火（RTA）、快速冷卻和先進的可編程熱浸泡。這允許從25°C到1400°C的高溫處理範圍,這是高級應用的理想選擇。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher配備了先進的氧氣表/控制器，可監控和控制蝕刻和退火過程中的氧氣總量。這樣可以確保優化的過程和準確的結果。Rainbow 4520 Asher的蝕刻速度是目前市場上其他蝕刻商的十倍以上。這樣可以提高工作效率和周轉時間。有了先進的過程控制和監控系統，先進的診斷能力，集成的故障保護、蝕刻速率和材料一致性也得到了很好的保證。該設備具有標準的自動晶片跟蹤功能，以確保所有基板的過程一致。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher提供精湛的均勻性，通過重型光機構造和高精度電磁波導執行器的使用實現。多基板尺寸兼容性、模塊化工藝室設計、介電射頻工藝等附加特性，提供了額外的均勻性和靈活性。Rainbow 4520 Asher配備了低頻和高頻電源，最多可提供8個頻率。這樣可以通過多種工藝配方或多步就地退火提高生產效率,從而提高性能。該設備還配備了一個獨一無二的串聯InGaAs相機，能夠為基板提供自動尺寸選擇和識別，這大大減少了人工修飾時間。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher在精密基材加工方面提供了最大的應用。Rainbow 4520 Asher具有卓越的硬件、先進的過程控制和監控、增強的過程一致性和準確的結果,是眾多行業應用的理想選擇。