二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 待售
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ID: 9280619
晶圓大小: 6"
Oxide etcher, 6"
Gases:
Gas 1 / AR
Gas 2 / CF4 / SF6
Gas 3 / CHF3
Gas 4 / HE
Gas 5 / O2
UPC HE
Standard gas box
Calibration
Gas weldment polish
Bottom gas panel exhaust
Wafer transfer:
Open cassette exit, 6"
Entrance load lock wafer holder
Hinge 38A receiver / Sender indexer
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
AC power:
Fuses for AC/DC power box
AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A
RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz
Chamber configuration:
Envision system with CRT
Bulkhead system mount
Chamber with variable gap electrode
Automatic match system
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochromatic
ESC Chuck and module
Viton O-ring all change
Standard clean gas box
Pressure control system:
APC Controller
Throttle valve
Isolation valve open / Close type
Upper and lower electrode temperature control:
Chiller type: 2080 TCU
Dual system
Vacuum system
Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250
Pump / IH600
Load lock chamber: EDWARDS QDP80
Dimension and facility
Physical dimensions
Power requirements
Exhaust requirements
Cooling water
Nitrogen
Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款適用於半導體器件制造的先進蝕刻器/asher。它能夠提供卓越的性能、質量和生產力。Rainbow 4520采用優化的腔室設計,可實現快速吞吐量,是一款可靠且高效的蝕刻設備。LAM RESEARCH Rainbow 4520能夠以最小的顆粒汙染提供優異的工藝效果。它具有高效的渦輪泵，以及強大的化學和蝕刻程序，以實現高吞吐量和卓越的質量效果。此外，該蝕刻器還具有快速加載晶片裝卸系統，以進一步優化生產工藝。Rainbow 4520還采用了創新的0-1-1超高壓（UHP）氣體裝置,能夠生產出具有低應力剖面的精密陣列設備。該機具有最先進的沈積壁、先進的氣體面板和工藝室以及溫度控制器，可最大限度地減少顆粒和缺陷汙染。Asher技術可實現出色的層均勻性、快速的周期時間和高生產率。LAM RESEARCH Rainbow 4520提供一流的asher性能,可實現最大程度的設備產量和出色的輪廓均勻性以及更高的材料加工量。該工具配置了一個適合質量檢查和過程調整的可靠的過程控制。彩虹4520還支持先進的波紋管和擋板組件，允許在超低壓力下更高效的基於HF的蝕刻。此外,該資產還可以配置獨特的傳感器診斷程序,從而實現快速的流程反饋、在線維護以及不斷提高蝕刻性能和產量。最後,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款經濟實惠的精密蝕刻模型,以經濟實惠的方式提供卓越的生產效率、質量和吞吐量。Rainbow 4520具有集成控制器和多種選項,是半導體器件制造行業廣泛應用的理想解決方案。
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