二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款先進的蝕刻/asher設備，利用能量的熱傳遞來制造多種材料。它主要用於處理半導體晶片和集成電路，以及用於掩蔽、平面化和表面修改。該系統配備了3軸高速直線軸單元、動態電容過程壓力控制和可調過程腔。3軸機器能夠執行高達300毫米/秒的可重復過程,從而可以精確創建高密度模式。動態電容過程壓力用於控制材料的去除速率,確保材料表面的蝕刻速率均勻。此外,加工室的最高溫度為45°C,允許在低溫下加工材料,從而最大程度地減少對工件的損壞。Rainbow 4520直觀的用戶界面也使得訪問高級流程參數變得輕松。它提供了一個過程控制包，包括配方開發，晶圓跟蹤和過程監控。此外，還提供實時反饋，以確保每個晶片得到準確處理。使用LAM RESEARCH Rainbow 4520工具，用戶有能力對多種材料的表面進行改造，包括矽、砷化​​氙和的。這種多層工具可用於蝕刻、灰化、CVD和精確抵抗剝離。它還提供了對壓力和溫度的精確控制，允許精確調整蝕刻和灰化過程。彩虹4520還配有一系列配件，如負載鎖、溫度控制模塊和惰性氣體進料資產。這些附件允許用戶精確控制蝕刻和灰化過程，有助於確保結果準確。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款功能強大的蝕刻器/asher模型,可提供對過程的精確控制。它專為制造高密度集成電路而設計，允許創建復雜的模式。此外，其直觀的用戶界面和各種配件使其成為一系列應用的理想設備。