二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300069 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高精度的蝕刻器/asher，設計用於安全、準確地將金屬層沈積到各種基板上。該蝕刻器具有六氣體構型，用戶可以準確控制所加工材料的組成和沈積速率。4520利用了一個大容量的垂直安裝的工藝室，允許用戶一次處理多個批次。Rainbow 4520的高級功能為用戶提供了對所沈積金屬的厚度、均勻性和形狀的完全控制。它具有同類蝕刻器/分貝中達到的最高吞吐量,沈積速率高達1500 nm/min。4520還配備了專利工藝控制工程（PCE），這是一種閉環技術，可以精確監控沈積速率和組成以獲得最佳結果，使用戶能夠輕松地快速準確地在各種工藝之間切換。LAM RESEARCH Rainbow 4520操作簡單,自動化程度高,易於設置和運行批處理過程。直觀的控制設備允許用戶從單獨的顯示器監控過程，因此他們可以方便地設置參數並運行各種配方。4520具有廣泛的功能，包括內置的數據收集軟件、自動化配方管理以及多種安全功能，如工藝室真空、氣流和氮氣壓力監測。即使在極端環境下,Rainbow 4520的堅固結構也能確保可靠的操作。該蝕刻器采用重規格、低振動、高穩定性的不銹鋼框架。腔室由不銹鋼制成，密封以防止汙染。自動映射的加載程序允許用戶方便地加載和卸載基板,從而能夠有效地利用資源。4520配備了高效排氣系統，具有主動過濾器，以確保所有氣體和顆粒迅速安全地從單元中清除。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高級蝕刻器/asher,提供高性能、易於操作和堅固的結構。六氣配置、高沈積率、先進的工藝控制使其成為金屬沈積的理想選擇，而自動映射裝載機和高效排氣機在運行過程中保證安全方便。