二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高度先進的蝕刻器/asher,旨在提供高性能和高效的結果。它是一種革命性的蝕刻和灰化系統，旨在快速、準確地蝕刻和粉刷即使是最困難的基材。Rainbow 4520具有200 mm的分批肘部配置，使其能夠同步處理96種基板。它配備了強大的21腔系統，能夠對性能突出的各類基板進行灰化和帶狀蝕刻。LAM RESEARCH Rainbow 4520還采用了尖端技術-順序等離子體輔助蝕刻（SPA），使其在蝕刻和灰化時保持嚴格的精度。Rainbow 4520的高壓和溫度控制的工藝室允許它蝕刻和灰燼提高吞吐量和可控性。此外，為幹燥而優化的等離子體發生器也有助於其過程的快速執行和改進的可控性。它配有分布式均勻性控制，有助於平衡整個基板上的蝕刻速率。它具有增強的CD均勻性保護功能,以保持均勻的蝕刻速率。此功能確保即使在關鍵設備技術中也能滿足CD均勻性規範。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520還具有自動救援功能,即使在存在熱點或掩蔽缺陷的情況下也能幫助恢復良好的蝕刻速率。Rainbow 4520還有一個集成的邊緣偏置系統（Edge Bias System，EBS），以幫助最小化晶圓內的不均勻性。此功能以及ChemRanging功能有助於最大程度地提高晶圓蝕刻產量和吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4520是前沿器件技術工藝的理想選擇，是任何半導體蝕刻設施的完美補充。