二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293595654 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一個可靠且先進的蝕刻/asher平臺。它配備了單晶片處理能力和多重蝕刻/剝離源配置，使其成為廣泛復雜應用的理想解決方案。它能夠生產納米級蝕刻和灰燼，非常適合半導體產品的開發和生產。4520i利用低壓、感應耦合等離子體源和圓柱形石英淋浴頭，以及高頻等離子體源。這種雙源配置在廣泛的工藝範圍內提供了均勻性和特定的蝕刻選擇性。該系統還包括一個石英室，該室允許低使用加工氣體，使該系統能夠在碳足跡減少的情況下運行。Rainbow 4520i具有超緊湊的占地面積和易於操作的用戶界面,使其能夠高效集成到任何生產環境中。此外,該系統還提供了一個出色的Level-1 100級潔凈室環境,允許更高效的過程,同時最大限度地減少汙染和幹擾信號。4520i還具有強大的流程控制和監控功能組合,可提供增值的靈活性和功能。這包括包括一個充滿凸輪的晶片級、綜合射頻控制系統、復雜的腔室控制、晶片映射和處理空間和時間非均勻性的過程歷史。這種精密的能力提供了蝕刻工藝性能和自動化的完美平衡。4520i還包括一系列先進的故障監測和診斷能力，包括電極鏈診斷和電解監測。這些功能為過程控制、優化和診斷提供了一個擴展的工具集。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是任何蝕刻或粉刷應用的最佳解決方案。它具有一組強大的功能、過程控制功能和診斷功能,使其能夠高效、精確地用於復雜的應用程序。其低壓、感應耦合等離子體配置和先進的功能集使其成為高效、精確、經濟高效的蝕刻/灰度處理的理想選擇。