二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是為直接寫入和3D設備制造等應用而設計的高性能蝕刻器/asher。它提供了許多功能,例如高分辨率步進器、寬晶圓尺寸範圍和大量配方集,使其成為許多行業的理想選擇。Rainbow 4520i采用先進的步進設計,具有大量的定位點和高效的驅動設備。這樣可以在晶圓的整個表面上實現高精度和快速定位。步進器能夠產生微米級分辨率的圖樣，可以將標準幾何形狀和復雜幾何形狀精確蝕刻或灰燼到晶圓表面。系統還配備了激光對準單元（LAS），在每個處理步驟前自動對準晶片，以達到最高精度。該機器配有範圍廣泛的晶圓尺寸，最大直徑可達13英寸。它可以處理不同厚度的基板，矽、石英或陶瓷等材料，同時也可以同時處理多個晶片。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4520i以大量的配方集為特色，以快速使過程參數適應應用程序的要求。Rainbow 4520i由LAM RESEARCH flexFAB軟件提供支持,該軟件提供用戶友好的圖形界面和對蝕刻/灰燼過程的實時視頻監控。該軟件旨在方便設置和存儲配方,獲取有關工藝狀態的數據,校準工具以提高精度,以及定制各種材料的工藝參數。軟件還提供了許多資產診斷,例如檢查模式的質量、過度蝕刻和環境數據記錄。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款多功能、高性能的蝕刻/灰燼模型,旨在滿足先進設備制造的要求。Rainbow 4520i具有高分辨率步進器和廣泛的工藝參數,能夠在標準幾何形狀和復雜幾何形狀方面產生優異的效果。它還配備了許多創新功能和用戶友好的圖形界面,以簡化過程控制。該設備非常適合各種行業，從半導體到光學器件制造。