二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9166186 待售

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ID: 9166186
晶圓大小: 6"
Isotropic etcher, 6" ESC.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i 蝕刻器/asher是一種高性能設備,專為在一系列復雜且要求苛刻的工藝中蝕刻和粉刷基板而設計。該系統具有超短蝕刻和灰度時間、精密計量和最高質量的性能,不會影響安全性。它為基板加熱、冷卻、供電等工藝提供了一系列全面的選項,使用戶可以實現高水平的工藝控制和可重復性。該裝置采用多區域設計,能夠精確高效地輸送蝕刻和灰化氣體及動力。這與高度的靈活性和過程控制相結合,意味著用戶可以準確調整蝕刻和灰化氣體的分布和控制。Rainbow 4520i還配備了高級診斷功能、真空烘烤周期和一系列機器傳感器,使用戶能夠監控關鍵流程指標並相應調整流程。該工具還支持各種基材尺寸和工藝配方,可以方便地編程和調整以滿足特定工藝要求。資產極其可靠,多年來已證明自己是高度可靠的,確保按照最高標準進行流程。該模型還具有廣泛的安全特性,使其安全用於潔凈室或實驗室。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520i 蝕刻器/asher設備提供了一系列全面的功能,滿足了工藝性能和可重復性的最高標準。其運行成本低,運行可靠,安全特性無與倫比,已成為廣泛應用的基板蝕刻和灰化的熱門選擇。
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