二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9189899 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款高性能、濕蝕蝕刻設備，用於半導體行業的先進加工。它是一個高效、用戶友好、經濟高效且用途廣泛的蝕刻系統。Rainbow 4520i具有特定功能的自動化加工站,為各種高價值半導體器件提供精確的溫度控制。該單元具有全面的流程和配方管理功能,能夠快速輕松地設置和召回預定義和定制的配方。這包括從可選參數器開發多步驟配方,以及現場配方編輯/設計。此外，Rainbowi系列具有CCD逐片監控功能，提供實時質量保證。LAM RESEARCH Rainbow 4520i機具有堅固、不銹鋼的前裝載室，配有雙工藝氣體閥和集成射頻發生器。真空室設計用於蝕刻和沈積過程中的平穩可靠操作，使用原位壓力表精確控制壓力。艙蓋配有預定義的空氣冷卻和加熱系統，可實現快速高效的溫度上升和下降速率。射頻發生器提供蝕刻過程所需的高頻能量；可以根據需要選擇功率級別、頻率和調諧。Rainbow 4520i還融合了一整套安全功能，具有用於精確蝕刻控制的自動溫度控制，帶有整體安全和警報的完全互鎖的工藝室，以及實時故障拍攝的集成診斷工具。此外,資產還包括現場序列編輯器和監視器,使工程師能夠對參數進行實時調整並跟蹤開發過程。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款用於先進半導體器件加工的全集成蝕刻模型。憑借強大、直觀的設計以及全面的流程和配方管理功能,Rainbow 4520i可提供高效、可靠和經濟高效的結果。