二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9198092 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款先進的蝕刻/asher設備,旨在提供最大的多功能性和最先進的基板加工精度。因此，該系統非常適合科學和工業研究以及生產加工。Rainbow 4520i采用雙杯單元、垂直磁控管源以及最先進的工藝監控,以實現精確的蝕刻和灰燼工藝。在這臺機器中，蝕刻和灰燼任務在可獨立調節、可重復和自動化的腔室中進行。這種先進的技術允許加工各種基板，如絕緣體和導體材料，甚至高長寬比的特性。此外,還可以根據客戶的要求定制蝕刻器/asher的過程窗口。將基板引入預清洗室，在該室中應用材料去除、基於模型的輪廓和邊緣珠去除，然後進行後清洗。端點檢測（EPD）技術通過對蝕刻和灰燼過程提供實時反饋,改進了傳統端點檢測方法。除了先進的蝕刻和灰燼功能外，LAM RESEARCH Rainbow 4520i還具有可靠、堅固和易於操作的特點。溫度和壓力通過觸摸屏界面控制，允許在過程中監測壓力、流量、溫度和氣體混合比。不言自明的菜單簡化了流程操作，使其更加直觀。該工具包含了高速個人計算機（PC），其性能優於慢速微處理器控制系統。多語言用戶界面有多種語言版本,使全球各地的最終用戶更容易利用其功能。汙染控制資產提高了過程的一致性和產量。總之，Rainbow 4520i是一個先進的蝕刻/asher模型，為科學和工業研究以及生產加工提供了完整的解決方案。其用戶友好的界面，過程控制和堅固的構造提供了可靠的，可重復和可重復的結果在各種基板。